알루미나 도예 – 안 없어서는 안될 열쇠 재료 ~에 그만큼 필드 ~의 높은-끝 정도 조작
~ 안에 최근의 연령, 리소그래피 기계 가지다 물론 계속 ~ 이다 a 유행어, 끌어들이다 중요한 주목 둘 다 이내에 그리고 밖의 그만큼 산업. 언제 그것 온다 에게 리소그래피 기계, 사람들 5월 첫 번째 생각하다 ~의 규소 카바이드 (SiC). 처럼 a 제삼-세대 반도체 재료, 규소 카바이드 가지다 빠르게 등장했다 ~처럼 하나 ~의 그만큼 최대 높은-윤곽 재료.
하지만, ~에 현실, 이내에 그만큼 크기가 큰-규모 장비 체계 ~의 리소그래피 기계, 거기 ~이다 또 다른 유형 ~의 열쇠 재료 조용히 연주하다 a 중대한 역할—알루미나 도예. 만약에 규소 카바이드 ~이다 a "new 파트너" ~에 그만큼 반도체 필드, 그 다음에 알루미나 도예 ~이다 의심할 여지없이 a "베테랑 기여자" 그리고 "백본 강제ddhhh ~에 그만큼 전자 재료 필드. 감사해요 에게 그것은 훌륭한 포괄적인 성능, 알루미나 도예 가지다 ~이 되다 하나 ~의 그만큼 우선의 재료 ~을 위한 열쇠 구조적 구성 요소 ~에 많은 높은-정도 장치.
❶준비 기술 ~의 열쇠 구성 요소
그만큼 통합된 회로 산업 (IC 산업) ~이다 a 전략적 산업 저것 우려 그만큼 국가의 경제, 정치, 그리고 방어 보안. ~ 안에 덧셈 에게 고급의 설계 그리고 정도 제어 기술, 그만큼 개발 ~의 열쇠 장비 ~을 위한 통합된 회로 ~이다 또한 심하게 제약된 ~에 의해 그만큼 준비 기술 ~의 열쇠 구성 요소, 어느 진지하게 영향을 미친다 그만큼 현지화 프로세스 ~의 고급의 조작 장비 ~을 위한 통합된 회로.
❷알루미나 도예 ~이다 넓게 사용된 ~에 그만큼 필드 ~의 높은-끝 정도 악기
알루미나 도예 붙잡다 a 높은 탄력 있는 계수 그리고 특정한 단단함, ~이다 ~ 아니다 엎드린 에게 흉한 모습, 그리고 가지다 a 낮은 계수 ~의 열의 확장 ~을 따라 ~와 함께 높은 열의 안정. 처럼 한 훌륭한 구조적 재료, 그들 가지다 계속 ~ 이다 넓게 사용된 ~에 전지 그런 ~처럼 항공우주, 석유화학 공학, 기계 조작, 핵무기 산업, 그리고 마이크로전자공학 산업.
하지만, ~부터 그만큼 원자 본딩 ~의 알루미나 세라믹 재료 ~이다 주로 이온 채권 ~와 함께 일부 공유 결합 채권, 그들 전시하다 극도로 높은 경도 그리고 중요한 취성, 만들기 정도 가공 어려운. ~ 안에 덧셈, 알루미나 가지다 a 높은 녹는 가리키다, 어느 만든다 그것 딱딱한 에게 성취하다 밀집한 그리고 가까운-그물-모양 소결. 그러므로, 그만큼 준비 ~의 크기가 큰-크기, 복잡한-모양의 특별한 구멍 구조적 알루미나 구성 요소 ~와 함께 높은 정도 ~이다 상당히 도전적인, 어느 제한 그만큼 넓은 애플리케이션 ~의 알루미나 도예 ~에 그만큼 조작 ~의 높은-끝 장비 그런 ~처럼 통합된 회로.
❸알루미나 세라믹 가이드 울타리 기여하다 에게 달성하다 운동 정도 그리고 긴-용어 안정
~ 안에 극단론자-정도 장비 그런 ~처럼 리소그래피 기계, 알루미나 세라믹 가이드 울타리 놀다 a 중대한 역할. 그들 ~이다 열쇠 기초적인 구성 요소 저것 ~할 수 있게 하다 그만큼 장비 에게 성취하다 나노스케일 극단론자-정도 운동 ~와 함께 높은 속도, 크기가 큰 뇌졸중, 그리고 육 학위 ~의 자유, ~처럼 잘 ~처럼 긴-용어 안정.
성취하다 극단론자-높은-속도, 극단론자-안정적인 나노스케일 운동
그만큼 공작물 단계 ~의 a 리소그래피 기계 필요 에게 이동하다 ~와 함께 a 마스크 또는 웨이퍼 ~에 극도로 높은 가속 그리고 속도, 그리고 멈추다 정확히 ~에 a 나노스케일 포지셔닝 가리키다 ~에 한 즉각적인.
알루미나 도예 가지다 a 높은 탄력 있는 계수, 어느 수단 그들 받다 최소한의 흉한 모습 아래에 짐. 언제 사용된 ~처럼 가이드 울타리, 그들 ~할 수 있다 제공하다 한 극도로 안정적인 참조 ~을 위한 그만큼 전체 운동 체계, 저항하다 힘-유도된 흉한 모습 발생했다 ~에 의해 운동 가속, 그리고 보장하다 그만큼 직진성 그리고 평탄 ~의 그만큼 운동 궤도.
제공하다 안정적인 열기계적 속성
동안 그만큼 작업 ~의 a 리소그래피 기계, 구성 요소 그런 ~처럼 모터 그리고 운전자들 생성하다 열, 일으키는 근소한 변동 ~에 그만큼 주변 온도. 열의 확장 ~의 어느 재료 곧장 리드 에게 포지셔닝 오류. 비교하다 ~와 함께 최대 궤조 (e.g., 항공우주 알류미늄) 그리고 화강암, 알루미나 도예 가지다 a 낮추다 계수 ~의 열의 확장. 이것 수단 저것 아래에 그만큼 같은 온도 변동, 그만큼 흉한 모습 ~의 세라믹 가이드 울타리 ~이다 많이 더 작은 ~보다 저것 ~의 가이드 울타리 만들어진 ~의 다른 재료, 제공 a 더 안정적인 그리고 믿을 수 있는 열기계적 참조 ~을 위한 그만큼 전체 운동 체계.
훌륭한 화학적인 그리고 물리적 안정
알루미나 도예 붙잡다 훌륭한 진공 성능, 부식 저항, 그리고 좋은 격리 속성, 만들기 그들을 고도로 적합한 ~을 위한 사용 ~처럼 절연 구조적 구성 요소 그리고 진공 방 부분품 ~에 반도체 그리고 광전자 장치, 그리고 보장하다 긴-용어 신뢰할 수 있음 ~의 그만큼 장비.