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고순도 알루미나 세라믹의 기술 발전

2022-04-29


초고경도, 탁월한 절연성, 강력한 내식성 및 뛰어난 열 안정성을 갖추고 있습니다.고순도 알루미나 세라믹반도체, 항공우주, 신에너지 등 첨단 분야의 핵심 소재로 자리 잡았습니다. 최근 중국은 원료 준비, 소결 공정, 성능 최적화 및 응용 분야 확장에 있어 산업 전반에 걸쳐 기술적 돌파구를 마련했습니다.고순도 알루미나 세라믹이는 점차 해외 독점을 깨뜨리고 있으며, 더 높은 순도, 우수한 성능, 그리고 더 낮은 비용을 향한 산업 발전을 도약시키고 있습니다.


원료 준비:

고순도 원료는 핵심 기반을 이룹니다.고순도 알루미나 세라믹성능 면에서 업계는 이제 4N 등급(99.99%) 이상의 순도를 가진 초고순도 분말의 안정적인 대량 생산을 달성했습니다.


소결 공정:

  • 혁신적인 저온 소결 공법:소결 온도99% 알루미나 세라믹온도가 1530℃ 이하로 낮아져 100℃ 이상 감소합니다. 굽힘 강도는 100MPa 이상 증가하고 내마모성도 크게 향상됩니다. 미세 결정화 효과로 더욱 균일하고 치밀한 미세 구조가 형성됩니다.

  • 새로운 고밀도화 기술의 반복 개발:냉간 소결은 350~500MPa의 고압과 120~300℃의 저온 조건에서 분말 치밀화를 달성하여 에너지 소비를 크게 절감합니다. 급속 소결은 외부 전기장을 이용하여 급속 소결을 실현하고 결정립 조대화를 억제합니다. 진동 압력 소결은 동적 압력을 통해 결정립 재배열을 촉진하고 잔류 기공을 제거합니다.


성능 및 적용 분야:

  • 반도체 산업:고순도 알루미나는 3nm 이상의 첨단 공정을 위한 에칭 및 증착 장비의 핵심 구성 요소로 사용됩니다. 광학 모니터링 창, 절연 링, 정밀 핸들링 암 및 기타 부품에 적용되며, 할로겐 플라즈마 부식에 대한 저항성이 뛰어나 성능 저하 없이 8,000시간 동안 연속 작동이 가능합니다.

  • 항공우주 및 신에너지: 고순도 알루미나 세라믹이 기판들은 우주선의 전자 탑재체와 잘 어울리며 궤도상에서의 신뢰성을 보장합니다. IGBT 방열 기판, 릴레이 하우징, 그리고 신에너지 차량의 고전압 시스템에 사용되는 기타 부품들에 활용됩니다.


산업 동향:

중국의고순도 알루미나 세라믹산업계는 크게 세 가지 발전 추세를 보이고 있습니다. 첫째, 초고순도 소재를 추구하며, 4N 등급(99.999%) 분말이 고급 응용 분야의 표준으로 자리 잡았습니다. 둘째, 이온 도핑 및 위스커 강화 등을 통해 유전성, 광학적 특성 등 다양한 특수성을 구현하는 복합 소재 개발이 활발히 진행되고 있습니다. 셋째, 생산 능력이 대규모로 확장되고 있습니다. 선도 기업들은 대학과 협력하여 전문 연구실을 설립하고, 대형 박판 부품 성형 시 발생하는 균열 등의 문제를 해결하며, 기술, 생산 능력 및 산업 생태계를 통합적으로 구축하고 있습니다.


Alumina Ceramic