중국의 주요 반도체 장비 제조업체는 99%를 사용합니다.고순도 알루미나 세라믹 막대장비 내부 공간의 핵심 정밀 지지 부품으로서 기존의 스테인리스 스틸 지지 구조를 대체하여 장비 성능과 작동 효율을 동시에 향상시킵니다.
맞춤형 고정밀알루미나 세라믹 막대매끄럽고 평평한 표면을 가진 이 세라믹 봉은 높은 강성, 낮은 열팽창 계수, 플라즈마 부식 저항성, 우수한 절연성 및 낮은 분진 발생률과 같은 핵심 특성을 결합하여 에칭 장비의 청결, 고정밀 및 연속 작동이라는 가혹한 작업 조건에 완벽하게 적합합니다. 이 세라믹 봉은 주로 장비 내부의 광학 검출 부품 및 웨이퍼 한계 구조를 고정하는 데 사용되며, 정밀한 지지, 위치 교정, 절연 및 보호에 핵심적인 역할을 하여 고속 왕복 작동 중 장비의 구조적 안정성을 보장합니다.
